Bioquímica: una revista india
ISSN (PRINT): 0974-7427

Abstracto

On controlling of gas and heat transport in a vertical reactor process to improve properties of epitaxial layers

E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva


In this paper we analyzed mass and heat transport in a reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.


Indexado en

  • CAS
  • Google Académico
  • Abrir puerta J
  • Infraestructura Nacional del Conocimiento de China (CNKI)
  • CiteFactor
  • Cosmos SI
  • MIAR
  • Laboratorios secretos de motores de búsqueda
  • Pub Europeo
  • Universidad de Barcelona
  • ICMJE

Ver más

Revista ISSN

Índice h de la revista

Flyer

Revistas de acceso abierto